泰克2651A大功率系統(tǒng)數(shù)字源表

大功率2651A 型數(shù)字源表進一步豐富了2600A 系列產(chǎn)品。該源表專門針對大功率電子器 件的特性分析和測試而優(yōu)化設(shè)計，可幫助用戶在研發(fā)、可靠性及生產(chǎn)領(lǐng)域提高生產(chǎn)力，包 括高亮度LED、功率半導(dǎo)體、DC/DC 轉(zhuǎn)換器、電池，以及其他大功率材料、元件、模塊 和組件的特性分析和測試。

與2600A 系列產(chǎn)品的每個成員一樣，2651A 具有高靈活性、四象限電壓和電流源/負(fù)載， 組合了精密電壓和電流表。該源表可作為：

• 半導(dǎo)體特征分析儀
• 電壓或電流波形發(fā)生器
• 電壓或電流脈沖發(fā)生器
• 精密電源
• 真電流源
• 數(shù)字多用表(直流電壓，直流電流，電阻和功率，分辨率達5½位)
• 精密電子負(fù)載

2651A 型可輸出或吸入高達±40V 和50A。

主要特性：

• 源或阱：
- 2,000W脈沖功率(±40V，±50A);
- 200W直流功率(±10V@±20A、±20V@±10A、±40V@±5A)
• 方便地連接兩個單元(串聯(lián)或并聯(lián))形成±100A 或±80V 解決方案
• 1pA 分辨率，可精密測量極低的漏電流
• 1μs/點(1MHz)，連續(xù)18 位A/O 轉(zhuǎn)換器，精確的瞬態(tài)特性分析
• 1%至100%脈沖占空比，適用于脈寬調(diào)制(PWM)驅(qū)動型器件和特殊驅(qū)動類型期間的激勵
• 組合了精密電壓源、電流源、數(shù)字多用表、任意波形發(fā)生器、電壓或電流脈沖發(fā)生器及測量、電子負(fù)載及觸發(fā)控制器——多功能一體的儀器
• 包括TSP®Express 特性分析軟件、LabVIEW®驅(qū)動，以及吉時利的Test Script Builder(測試腳本編輯器)軟件開關(guān)環(huán)境。

典型應(yīng)用：

• 功率半導(dǎo)體、HBLED 和光器件特性分析和測試
• GaN、SIC 及其他復(fù)合材料和
器件的特性分析
• 半導(dǎo)體結(jié)溫度特性分析
• 高速、高精度數(shù)字化
• 電遷移研究
• 大電流、大功率器件測試

兩種測量模式：數(shù)字化或積分

2651A 型有兩種測量模式可對瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)行為進行精密地特性分析，包括快速變化的熱 效應(yīng)。每種模式均由其獨立的模/數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器定義。

在數(shù)字化測量模式下，連續(xù)進行1μs/點采樣，每秒可捕獲1,000,000 個讀數(shù)。其18 位 A/D 轉(zhuǎn)換器使用戶能夠精密測量瞬態(tài)特性。對于更準(zhǔn)確的測量，可利用基于22 位A/D 轉(zhuǎn) 換器的積分測量模式。全部2600A 系列儀器均具有積分測量模式。

每種測量模式下使用兩個A/D 轉(zhuǎn)換器(一個 用于電流，另一個用于電壓)，可同時運行 用于準(zhǔn)確源讀回，不會影響測試效率。

雙數(shù)字化A/D 轉(zhuǎn)換器以高達1μs/點速率進行連 續(xù)采樣，同時對電流和電壓波形進行特性分析。

高速脈沖

2651A 型能夠準(zhǔn)確輸出和測量短至100μs 的脈沖，將測試期間的自熱效應(yīng)影響降至 低。更大的控制靈活性使用戶能夠在 100μs 至DC 范圍內(nèi)編程脈寬，在1%至 100%范圍內(nèi)編程占空比。單臺儀器可輸出 高達50A 電流脈沖，兩臺組合可輸出高達 100A 電流脈沖。

擴展能力

利用TSP-Link®，可將多臺2651A 和其 他2600A 系列儀器組合在一起，形成 多64 路通道的更大集成系統(tǒng)。利用內(nèi)置 500ns 觸發(fā)控制器，確保精密定時和嚴(yán) 格通道同步。源表儀器的*隔離、獨 立通道確保了真正的SMU-per-pin 測試。

吉時利的TSP 和TSP-Link 技術(shù)確保實現(xiàn)真 正的SMU-per-pin 測試，不存在基于主機系 統(tǒng)的功率和/或通道限制。

此外，兩臺2651A 型采用TSP-Link 并 聯(lián)時，電流量程從50A 擴展至100A。 當(dāng)兩個單元串聯(lián)時，電壓范圍從40V 擴 展至80V。內(nèi)置智能特性使多個單元可 作為單臺儀器進行尋址，簡化了測試， 由此形成業(yè)內(nèi)*的動態(tài)范圍(100A 至 1pA)。這種能力確保用戶可測試各種各 樣的功率半導(dǎo)體和其他器件。

高達50A (2 個單元可達100A)的精密測量確 保更完善和準(zhǔn)確的特性分析。

1μV 測量分辨率和高達50A (2 個單元可達 100A)的電流源輸出確保低電平Rds 測量，支 持新一代器件。

2600A 系列儀器的標(biāo)準(zhǔn)能力

每款2651A 均具備其他2600A 系列儀器 提供的全部特性和能力，包括：

• 既可作為臺式I-V 特性分析工具，又可 作為多通道I-V 測試系統(tǒng)的組成部分。
• 無需編程或安裝，TSP Express 軟件 即可快速、簡便地執(zhí)行常見的I-V 測試。
• ACS 基本版軟件，用于半導(dǎo)體元器件 特性分析(選件)。ACS 基本版軟件現(xiàn) 在具備一種Trace 模式，用于產(chǎn)生一 套特性曲線。
• 吉時利的TSP®(測試腳本處理器)軟件， 能夠創(chuàng)建用戶自定義測試腳本，實現(xiàn) 自動化程度更高的測試，并且支持創(chuàng) 建編程序列，使儀器在沒有PC 直接控 制的情況下異步工作。
• 多臺2600A 系列儀器連接在一個系統(tǒng) 中，實現(xiàn)并行測試和精密定時。
• 符合LXI class C 標(biāo)準(zhǔn)。
• 14 位I/O 線，與探針臺、元件裝卸裝 置或其他自動化工具直接交互。
• USB 端口，利用USB 存儲裝置實現(xiàn)更 大的數(shù)據(jù)和程序存儲空間。

泰克2651A大功率系統(tǒng)數(shù)字源表

電壓準(zhǔn)確度

其他源技術(shù)指標(biāo)

噪聲(10Hz–20MHz)：<100mV 峰-峰值(典型 值)，<30mV RMS (典型值)。
過沖：電壓：<±(0.1% + 10mV)(典型值)。
電流：<±0.1%(典型值)。
遠(yuǎn)端檢測工作范圍：
HI 和SENSE HI 之間的大電壓 = 3V。
LO 和SENSE LO 之間的大電壓 = 3V。
電壓源輸出建立時間：<50μs *量程。
電流源輸出建立時間：<80μs *量程。
每路源引線的大阻抗：大阻抗受限于遠(yuǎn)端
檢測工作范圍的3V 壓降。
大電阻 = 3V/源電流值(A)。
3V = L di/dt。

其他測量技術(shù)指標(biāo)

大負(fù)載阻抗：
常規(guī)模式：10nF(典型值)，3μH(典型值)。
大電容模式：50μF(典型值)，3μH(典型值)。
測量輸入阻抗：>10GΩ。
共模電壓：250 VDC。
接觸檢查：內(nèi)置。

功率技術(shù)指標(biāo)

大輸出功率和源/阱限值：

電流和電壓量程擴展：兩臺2651A 可通過串聯(lián)或并聯(lián)擴展某些應(yīng)用下的工作量程和功率性能。

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有源負(fù)載操作：注意：當(dāng)2651A 配合另一臺系統(tǒng)源表儀器或其他任何有源負(fù)載工作時，需要將2651A 的輸出關(guān)閉 模式設(shè)置為“OUTPUT_ACTIVE_LOAD”。更多詳細(xì)信息請參考2651A 的參考手冊。

脈沖技術(shù)指標(biāo)

小可編程脈寬：100μs。 脈寬編程分辨率：1μs。 從脈沖起點至關(guān)閉時間起點測得：

小脈沖上升時間：

占空比：1%–100%

測量速度技術(shù)指標(biāo)

大掃描速率(操作/秒)，60Hz (50Hz)：

大單次測量速率(操作/秒)，60Hz (50Hz)：

大測量量程變化：143 μs
大源量程變化：2.5 ms
大源功能量程變化：1.0 ms

高速ADC 脈沖串測量速率：

觸發(fā)和同步技術(shù)指標(biāo)

觸發(fā)：觸發(fā)輸入至觸發(fā)輸出：0.5μs，典型值。
同步：單或多節(jié)點同步源變化：<0.5μs，典型值。

編程

測試腳本編輯器(TSB)：集成開發(fā)環(huán)境，用于創(chuàng)建、運行和管理TSP 腳本。
TSP Express(嵌入式)：無需編程或安裝，即可快速、簡便地執(zhí)行常見的IV 測試。
其他軟件接口：TSP Express(嵌入式)、Direct GPIB/VISA、Read/Write， 利用VB、VC/C++、VC#、LabVIEW、LabWindows/CVI 等讀/寫。

系統(tǒng)擴展

利用TSP-Link 擴展接口，使支持TSP 的儀器之間能夠進行觸發(fā)和通信。

通用技術(shù)指標(biāo)

USB：USB 2.1 主機控制器，支持外部數(shù)據(jù)存儲。
接觸檢查：1ms 小測量時間；5%基本準(zhǔn)確度。
PC 接口：IEEE-488.1 和.2；LXI Class C Ethernet；RS-232。
數(shù)字I/O 接口：輸入/輸出引腳：14 位 I/O。大5.25V。
電源：100 V 至250 VAC，50 Hz – 60 Hz(自動檢測)，大550 VA
制冷：強制風(fēng)冷。側(cè)面和頂部吸入，后背板排出。
EMC：符合歐盟EMC 指令。
安全：UL 認(rèn)證，符合UL61010-1:2004 標(biāo)準(zhǔn)符合歐盟低電壓指令。
質(zhì)保：1 年。
尺寸：89mm 高× 435mm 寬× 549mm 深(3.5 in × 17.1 in × 21.6 in)。臺式配置(含把 手和支腳)：104mm 高× 483mm 寬× 620mm 深(4.1 in × 19 in × 24.4 in)
重量：9.98kg (22 lbs).
環(huán)境：僅限室內(nèi)使用。
校準(zhǔn)周期：1 年。